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主要产品: 光刻机,紫外光刻机,激光直写光刻机,电子束光刻机,双光子激光光刻机,双光子微纳3D系统,镀膜机,磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机ALD,等离子刻蚀机,电子扫描显微镜,透射电子显微镜,原子力显微镜,太阳能吸收率发射率检测仪,模拟太阳,光谱仪,综合物性测量系统,紫外臭氧清洗机, UV清洗机,晶圆清洗机,UV清洗灯,曝光灯,光刻胶,UV胶等...
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