德国Raith CHIPSCANNER 电子束光刻机

工艺控制与设计验证解决方案

纳米技术的发展和生产需要在纳米精度级别上进行良好表征、稳定的器件加工。CHIPSCANNER能够以纳米分辨率扫描cm2尺寸的芯片区域，并为3D分析提供出色的层间精度。

凭借高分辨率电子光学、多种高效电子探测器以及超精密激光干涉仪平台技术的独特组合，CHIPSCANNER不仅能够提供超高精度的大面积SEM图像，还为各种工艺控制应用提供了基础。化合物半导体晶圆厂、FA实验室和多用户设施都受益于该系统集成的计量、检测和设计验证功能。

可配置的平台允许您根据需求和环境量身定制系统。包括高度传感和工作管理软件等高级功能支持在实验室和晶圆厂中实现全自动测量。CHIPSCANNER提供的自动化和灵活性使其成为具有最佳成像性能的最通用工艺控制系统。