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等离子清洗机 / 去胶机 > 德PVA TePla等离子清洗机
 
IoN 100 WB德国 PVA TePla 等离子清洗机
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德国 PVA TePla 等离子清洗机 IoN 100 WB , 是最新推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备,可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。

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产品详情

德国 PVA TePla 等离子清洗机
型号:IoN 100 WB等离子清洗机

   

 

IoN 100 WB是我们最新推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列,IoN 100 WB延续了同样的高品质保障,包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。

IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求,着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求。IoN 100 WB结构紧凑,集成度高,采用射频(RF)频率激发等离子体。 

IoN 100 WB的另一个独特之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。

 

先进的功能特性:


●  触摸屏操作,图形用户界面(GUI)

●  可配置的腔室可使用不同类型电极,适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理

●  使用Windows系统的工业计算机控制

●  工艺员、操作元、维护员访问权限控制

●  自诊断功能和警报记录功能,联网在线诊断功能

●  以太网远程控制功能

●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

●  安装简单快捷

 

规格参数 


工作腔室材料  :铝(标配)
容积:107 升
内部尺寸 :375 x 375 x 762 mm(宽/高/深)
   


工艺气体 


质量流量控制计:最多至6路气体
工艺压力 :200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 :  
大约1分钟 (取决于真空泵)

       
射频电源  :风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源:220V 单相, 50Hz
工艺气体 : 输入压力 1-2 bar 
吹扫气体 :输入压力 1-2 bar 
压缩空气  : 输入压力 4-6 bar

 

机体

●  独立的机体带有所有电源和气体接口
●  带有旋转垫脚的可转动机身

 

设备尺寸


标准尺寸 :1067 x 737 x 1245 mm(宽/高/深,不含泵)
重量  : 约239千克(不含泵)


可选项


● 不锈钢腔体

● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器

● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 液态单体操作装置
● 真空泵(油泵、干泵或罗茨泵组)
● 汽相MFC

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