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宽带厚胶
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| 类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 |
| 宽带厚胶 | SU-8 10系列 | g/h/i-Line | 0.1-200 | 0.5um | 负性环氧类化学放大光刻胶，具有高深宽比，光刻后可以达到非常好的陡直度. |
| 导电SU-8（GCM3060） | 1-50 | 负性环氧类光刻胶；可导电、粘合性较好，图层应力降低 | |||
| SPR220 | g/h/i-Line | 1—30 | 1um | 正性光刻胶，用于MEMS和Bump工艺 | |
| NR26-25000P | g/h/i-Line | 20-130 | 负性光刻胶，适用于各类接触式光刻机（mask aligner）、stepper、scanner | ||
| AZ P4620 | g/h/i-Line | 6—20 | 1um | 正性光刻胶 |
SU-8规格（常年现货供应）
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型号 |
GM1010 |
GM1020 |
GM1030 |
GM1040 |
GM1050 |
GM1060 |
GM1070 |
GM1075 |
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厚度/um |
< 0.2 |
< 0.5 |
< 1.5 |
0.8-3.2 |
2.2-8.4 |
5-27 |
15-92 |
50-192 |
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