2020年9月9-11日， 中国光电博览会，蓝星宇1A87a展，主要展出德国Nano nanlytik（百及纳米) 进口针尖/多功能电子束光刻机， 单离子注入机， 原子力显微镜。

德国Nano nanlytik（百及纳米)  针尖/多功能电子束光刻机，最小线宽5nm/8nm, 前沿科技，独家专利技术。单离子注入机，可以经定位，经定量，有序排列离子。广泛应用于微纳加工，半导体芯片，纳米量子点耦合器件等。非常适合高校、科研机构、科技企业等客户。

德国单离子注入系统，单离子到样品指定的空间位置，用于量子计算核心器件的制作，量子传感器件的制作，纳米量子点耦合器件以及单电子晶体管电路的制作等，实现多种离子（如H、N、O、SI、P、B、As、Te、Ar 等）的精准定位定量掺杂注入。德国Nano nanlytik 的单离子注入系统是制作量子计算器件的利器。