彩色光刻胶

类型

光刻胶型号

适用光谱

厚度范围/um

分辨率

适用工艺

彩色光刻胶

EK 580A

i-Line

0.8—1.5

2um

黑色负性i-line光刻胶,阻挡可见光，较强的粘附性

RGB 彩色光刻胶

i-Line

0.8—1.4

4um

RGB彩色光阻，可通单色光

染色SU-8

g/h/i-Line

15-200

0.5um

负性环氧类化学放大光刻胶；
红色、蓝色、黄色、紫色、绿色、黑色；
应用于Filter, colorfilter array (CFA), Color filter mosaic (CFM)