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Lifft off光刻胶
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| Liftft off光刻胶 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 |
| RN 218系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 2um | lift off 厚膜负性光刻胶 | |
| RN 246系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 2um | lift off 负性光刻胶 | |
| ma-N 400系列/1400系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 0.5um | 负性光刻胶，可用于传统光刻和lift off工艺,适用于高温工艺 | |
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AZ nLOF 2000系列 |
i-line |
2-11um |
0.5um | lift off 负性光刻胶，耐特高温；可用于RIE工艺 | |
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LOR/PGMI |
g/h/i-Line |
0.35-7 |
0.5um | 双层胶工艺 | |
| LOL2000 | g/h/i-Line | 130nm-300nm | 0.5um | 双层胶工艺 |
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