eLINE Plus®是广泛用于寻求将高效且无妥协的电子束光刻系统与开放平台相结合进行进一步纳米加工工艺和技术的大学和研究机构的最优系统。

为了应对最广泛的应用范围，现代纳米技术研究需要在经典和纯电子束光刻(EBL)之外采用多种技术——最好是在原位。

除了完全集成的纳米操作器和用于电子束诱导沉积和蚀刻的机制外，还有一系列进一步的可选功能，这使得eLINE Plus成为目前最通用和独特的纳米工程电子束光刻系统。