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等离子清洗机 / 去胶机 > 德PVA TePla等离子清洗机
 
IoN 40 德国 PVA TePla 等离子清洗机
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德国 PVA TePla 等离子清洗机IoN 40, 灵活的电极设计保证了工艺的均匀性, 触摸屏操作,图形用户界面(GUI)

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产品详情

德国 PVA TePla 等离子清洗机

型号:IoN 40等离子清洗机

 

 

先进的功能特性:


●  灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
●  使用Windows系统的工业计算机控制
●  触摸屏操作,图形用户界面(GUI)
●  菜单驱动式工艺过程
●  绘图和自诊断功能
●  以太网通讯功能
●  节能模式
●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
●  安装简单快捷

规格参数 
工作腔室材料:铝
容积: 36.5 升
内部尺寸: 229 x 330 x 483 mm
   

 

可选电极


● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极


 

工艺气体 


质量流量控制计: 最多至6路气体
工艺压力:  200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间:  大约1分钟 (取决于真空泵)
放气:可调
射频发生器: 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源:220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体:输入压力 1-2 bar 
吹扫气体:输入压力 1-2 bar 
压缩空气:  输入压力 4-6 bar 
尺寸:  宽/高/深 775 x 723 x 781 mm(不含泵)
重量:  约157千克(不含泵)


 

可选项


● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵(油泵或干泵)
● 气相MFC

 

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