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半导体辅助工艺/光刻胶 > 晶圆检查机
 
韩国ATI 晶圆检查机WIND
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韩国ATI 晶圆检查机WIND,晶片宏观检测,利用双镜头系统实现高产能,可检测切割完成后的芯片,切缝检测,利用从相邻的4个晶粒中提取出一个最佳晶粒,实现D2D高级算法,内置验证检查模组,采用实时自动对焦模组,可选IR检测,裂缝及硅片内部碎片。

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韩国ATI 晶圆检查机WIND

Wafer inspection system

 

 

ITEM      Descriptions

 

视觉 2D, 3D光学模块,实时自动对焦

 

检验测量项目

 

           •2D正常&锯切检查:裂纹、缺口、颗粒、划痕、图案缺陷、污染、NCF空洞、探针标记、残留等。

 

          •2D凹凸检查:排错、残留、压痕、丢失、划痕、异常(攻击)等。

 

           •2 d测量:圆片边缘修剪,切口(锯圆片),凹凸直径

 

           •3 d测量:凹凸高度,翘曲,共面性,晶片厚度,BLT

 

应用程序 200㎜& 300㎜晶片,300㎜& 400㎜环陷害晶片*自由转换

 

机架类型 细钢丝,白色粉末涂层

 

加载端口 圆片环形盒(8 ",12 "),圆片盒(FOUP,开口盒)

 

晶片对齐200㎜& 300㎜晶片,300㎜& 400㎜环帧定位

 

自动化 秒/宝石300㎜,半E84, *合规标准

 

尺寸 1900㎜x 1680㎜x 2100毫米,3.5吨

 

Vision   2D, 3D Optic Module, Real-time Auto Focus

Inspection & Measurement Items

       • 2D Normal & Sawing Inspection Crack, Chipping, Particle, Scratch, Pattern Defect, Contamination, NCF Void,  Probe Mark, Residue, etc.

       • 2D Bump Inspection Misalign, Residue, Press, Missing, Scratch, abnormal(Attack), etc…

       • 2D Measurement Wafer Edge Trim, Kerf(Sawing Wafer), Bump Diameter

       • 3D Measurement Bump Height, Warpage, Coplanarity, Wafer Thickness, BLT

 

Applications 200㎜ & 300㎜ Wafer, 300㎜ & 400㎜ Ring Framed Wafer * Conversion Free

Frame type HAIRLINE SUS STEEL, White Powdered coating

  Load Port Wafer Ring Cassette(8’’, 12’’), Wafer Cassette(FOUP, Open Cassette)

Wafer Alignment 200㎜ & 300㎜ Wafer, 300㎜ & 400㎜ Ring Frame Alignment

Automation SECS/GEM 300㎜, SEMI E84, * Compliance most of standards

 Dimension: 1900㎜ x 1680㎜ x 2100mm, 3.5ton

 

 

晶片宏观检测

 

▪ 利用双镜头系统实现高产能
▪ 可检测切割完成后的芯片
▪ 切缝检测
▪ 利用从相邻的4个晶粒中提取出一个最佳晶粒,实现D2D高级算法
▪ 内置验证检查模组
▪ 自主研发的镜头,具有视野广,像素高的特点。
▪ 采用实时自动对焦模组
▪ 可选IR检测,裂缝及硅片内部碎片

 

  

- 裂纹检测
  晶片变薄 & 切割领域检测

  

- 三维检测Bump

  

 

 

 

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