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半导体辅助工艺/光刻胶 > 晶圆检查机
 
美Sonix晶圆检查机 AutoWafe Pro.
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美国SONIX 晶圆检测设备 AutoWafe Pro.,是专为全自动晶圆检测设计的机型,主要应用在Bond wafer,MEMS 内部空洞、离层检测,TSV量测方面。

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美国SONIX 晶圆检测设备 AutoWafe Pro.

 

SONIX AutoWafer Pro™ 是专为全自动晶圆检测设计的机型,主要应用在Bond wafer,MEMS 内部空洞、离层检测,TSV量测方面。

● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准
● Cassette装载,全自动检测,支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件

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