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光刻机/微纳加工 > Raith 德 电子束光刻机
 
VOYAGER 完全自动化高性能电子束曝光仪
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德国Raith VOYAGER 完全自动化高性能电子束光刻机,采用创新架构,实现最短结果产出时间

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德国Raith VOYAGER 完全自动化高性能电子束光刻机

 

 

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VOYAGER – 一款完全自动化高性能电子束曝光仪,采用创新架构,实现最短结果产出时间。
 
E‑beam writer VOYAGER®是学术和工业环境中,在多用户设施中需要直接访问电子束光刻的完美解决方案。凭借其智能功能和流程、创新架构以及适用于广泛应用领域的解决方案,它帮助您使工作更轻松、更高效。
 

VOYAGER高度自动化,无需人工用户干预即可处理所有系统调整和校准。它 culminates in the autonomous human‑machine interfaceErgoFlow,这可以实现最高效率,并且还允许任何用户访问专业的电子束光刻——无论其专业水平如何。

 

所有这些再加上环境耐受性屏蔽、低拥有成本以及机载SEM和测量功能,使 VOYAGER 成为效率和人机工程学至关重要的系统中的首选系统。

 

 

 

 

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