SAM 301
Scanning Acoustic Microscope
超声波扫描显微镜

利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，从而实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等；广泛用于测试各种元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合等内部缺陷的无损检测，是提供高分辨率且无损检测的重要手段，和X-Ray, 电镜等为互补检测手段。

德国 PVA TePla– SAM 301 主要技术规格