紧凑式热蒸发系统（Compact Thermal）

 
占地面积紧凑的热蒸发系统，可放置在1平方米以内的区域。尽管设计紧凑，其主要功能与我们标准的高真空热蒸发系统几乎相同。全自动操作和配方运行模式可支持基础应用。
 
配置与优势：
 
- 灵活的基板尺寸，最大可达6英寸
- 基板架加热温度最高可达500℃
- 出色的薄膜均匀性，误差小于±3%
- 可选配电子束或热舟蒸发源（最多3个）
- 速率控制沉积
- 可沉积多层薄膜，选用特定目标材料
- 可选配负载锁定腔室