Syskey 紧凑式溅射系统（Compact Sputter）
 
占地面积紧凑的溅射系统，可放置在1平方米以内的区域。尽管设计紧凑，其主要功能与我们标准的高真空溅射系统几乎相同。全自动操作和配方运行模式可支持最基础的应用。
 

配置与优势：
 
- 灵活的基板尺寸，最大可达6英寸
- 基板架加热温度最高可达500℃
- 出色的薄膜均匀性，误差小于±3%
- 最多可配备5个6英寸磁控溅射源（可选配3或4个）
- 支持射频、直流或脉冲直流电源
- 最多可支持3条气体管路
- 支持顺序沉积和共沉积
- 可选配负载锁定腔室