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OCTOPLUS 300德国Eberl MBE-Komponent分子束外延系统
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德国Eberl MBE-Komponent OCTOPLUS 300是一款多用途且功能完善的紧凑型MBE系统,非常适合小尺寸样品的薄膜材料生长。设计虽然紧凑,但是可以装配多个不同种类源炉,实现各种材料的外延薄膜生长。
产品特点:
● 紧凑型专业MBE设计
● 应用于III/V族, II/VI族,金属,磁性材料,拓扑绝缘体,二维材料等
● 最大2 英寸样品,并向下兼容
● 8个标准的CF法兰
● 专业液氮冷屏设计
● 多种样品台加热器(Option)
● 样品台液氮冷却(Option)
我们可以根据客户需求,提供不同种类的蒸发源,包括K-cell、电子束蒸发源、热裂解源、阀式裂解源、气体裂解源等。可以使用石英晶振,反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四极杆质谱仪实现样品生长的原位监测。
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