中文
|
EN
产品分类
联系我们
地址：深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
电话：0755-29698758, 81776600,81779891
廖总：13538131258,15323788857 QQ:583129932
网站：www.lxyee.net
邮箱：johny.liao@lxyee.net
镀膜沉积系统 > iplas德 微波等离子化学气相沉积
 
Cyrannus 1-6\
*姓名：
*手机/微信：
*单位：
*邮箱：
*内容：
*验证码：

德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统，德国 iplas公司的独 家 专 利多天线耦合微波等离子技术（CYRANNUS®），可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善。

咨询购买
产品详情

德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统

 

MPCVD 法是在微波能量的作用下，将沉积气体激发成等离子体状态，在由微波产生的电磁场的作用下，腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡，促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的相互碰撞，从而有效地提高反应气体的离化程度，达到辉光发电，产生更高密度的等离子体。德国 iplas公司的独 家 专 利多天线耦合微波等离子技术（CYRANNUS®），可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善，这正是获取优质金刚石的技术基础。德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD），其真空室的形式为金属腔-石英管一体式，压力操作范围从 10mbar 到室压范围，可制备大尺寸、优质金刚石（工艺参数得当可制备出首饰级钻石）和高均匀性的金刚石厚膜。
 
 
1. CYRANNUS 技术采用多天线激发技术，开创性解决了高气压下等离子体团不稳定、闪烁的问题。可以在更高的功率（100kw）,更高的气压（室压）下仍然保持稳定的等离子体团， 因此为高速生长优质金刚石膜提供了可能。
2. CYRANNUS 多天线耦合技术配合 Iplas 专利的 E-H 调节器，可对前向和反射微波功率进行调节和测量。反射功率可以控制在 5%以下。
3. CYRANNUS 多天线耦合技术的高能量密度保证了极高的 SP3 键的转换率，相较于传统等离子技术 CVD 系统，可以获得更高品质的金刚石。
4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体 管的加热效应有限，风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。
 
[RETURN]
上一个：德 Iplas 微波等离子化学气相沉积
下一个：德国 iplas 公司介绍

Copyright © 2019 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 All Rights Reserved  粤ICP备2025493771号 

关于我们     联系我们     首页