•桌面型精巧款式

•采集数据，自动测量，分析和数据后处理，一气呵成的完备方案

•样品尺寸:

      •150 mm x 150 mm x 92 mm

      •最大承载 4.5 kg

•垂直分辨率: < 0.01nm @ 所有视场下

•横向分辨:

        •最佳0.3µm (±150nm)

        •AcuityXR 0.15µm (±75nm)

•基于白光干涉原理，结果可溯源

白光干涉技术内在优势

垂直分辨率