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镀膜沉积机 > 法Plassys微波等离子化学气相沉积及镀膜系统
 
SSDR 150 微波等离子化学气相沉积机
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法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150,专门用于合成 CVD 金刚石薄膜,能够制备高纯单晶(需高纯气源)、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学级窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计,是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统,能够完美地适用于高校科研和企业生产。 

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产品详情

法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150 

SSDR150 微波等离子体化学气相沉积系统专门用于合成 CVD 金刚石薄膜,能够制备高纯单晶(需高纯气源)、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学级窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计,是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统,能够完美地适用于高校科研和企业生产。 
 


 

SSDR150 系统特点

。 铝合金腔体+内置石英管反应室,支持长时间高功率下工作

。工艺气压可达 350 mbar 或更高,可以高速率生长单晶

。微波源为 2.45GHz、最大功率 6 kW,高耦合效率

。标准配置 4 条气路,最多可增加至 7 条气路(掺杂气路)

。2 英寸水冷样品台,高度电动可调、精度优于 10μm (可选)

。双色红外高温计测试样品表面温度,范围 475-1475 °C

。爱德华兹分子泵+ 干泵,最佳真空度≤ 3×10-7 mbar

。高水平金刚石生长工艺培训及演示(内容根据应用而定)

。全自动控制、半自动和手动可用,图形化操作界面(GUI)

。多级用户设置和管理、远程诊断和维护、数据导出接口

。多用途:高纯度单晶、厚单晶、大单晶、掺杂、光学窗口

。设备维护少、安全、可靠、稳定、性价比高

 

 

应用领域

。切削刀具、耐磨涂层、热沉材料、SAW

。光学窗口、激光晶体、电化学电极、CNT

。生物传感器、微机电系统、光电探测器

。商用宝石、低压高温退火处理、量子计算

 

 

 


SSDR150 性能表现


多晶金刚石:


• 液氮温度下 PL 检测 无明显氮
• 生长速率: 高达 10 μm/h, 取决于生长工艺

 

单晶金刚石:
 
• 液氮温度下 PL 检测 无明显氮
• EPR 测试氮浓度 : [Ns0] < 1 ppb
• 1332 cm-1 FWHM 金刚石拉曼谱线: 1.6 cm-1
• 4000 – 10000 cm-1无红外波段吸收

• 生长速率: 高达 20 μm/h, 取决于生长工艺条件  

 

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