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镀膜沉积机 > 法Plassys微波等离子化学气相沉积及镀膜系统
 
MEB550SL3法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机
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MEB550SL3法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机,电子束蒸镀仪是纳米器件制备中必不可少的仪器,用于蒸镀各种高纯金属薄膜,如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。电子束蒸发沉积法可在同一蒸发沉积装置中安装多个坩埚,使得可以蒸发和沉积多种不同的高质量金属薄膜。开展量子计算机实验研究,如基于金刚石NV色心,离子阱,超导量子结,量子点电子自旋的研究,均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件,特别是在利用超导量子结来实现量子计算的实验研究中

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MEB550SL3法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机

详细介绍

超高真空多腔体电子束蒸镀系统

磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、镀膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

品牌:PLASSYS  

型号:MEB 550SL3      

产地:欧洲 法国     

应用:约瑟夫森结(Al, Nb, NbN, NbTiN)

 

超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪

电子束蒸镀仪是纳米器件制备中必不可少的仪器,用于蒸镀各种高纯金属薄膜,如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。电子束蒸发沉积法可在同一蒸发沉积装置中安装多个坩埚,使得可以蒸发和沉积多种不同的高质量金属薄膜。开展量子计算机实验研究,如基于金刚石NV色心,离子阱,超导量子结,量子点电子自旋的研究,均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件,特别是在利用超导量子结来实现量子计算的实验研究中,Josephson结的制备最为关键:需要在非常干净的蒸镀腔里进行,而且需要在不同的角度上蒸镀两次,两次之间需要注入氧气进行金属氧化。所以样品台必须具有三维的旋转功能,同时,蒸镀腔内还需要有可以注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程。

 

推荐配置:可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜,目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料,请咨询我们!

 

预处理腔:衬底旋转、倾斜(3D);干泵+ 分子泵; 真空度10-8 T

 

蒸发镀膜腔:电子枪6-15KW;

 

样品台:

   。可加载4英寸衬底;

   。衬底可加热到800℃

   。衬底旋转、倾斜,

   。倾斜精度和重复性优于0.1°(可升级)

 

真空泵系统:

   。干泵 + 低温泵;

   。真空度10-10T或10-11T

 

膜厚控制仪:

   。频率分辨率10-4Hz或更高;

   。速率分辨率10-3nm/s;

   。厚度分辨率10-2nm

 

残余气体分析仪

 

反应蒸镀:氧气气路+MFC 

 

氧化腔体:

     。静态/动态氧化

     。臭氧发生器/原子氧发生源/辉光放电;

     。卤素灯加热至最高200℃

     。残余气体分析仪

分子泵 + 干泵;真空度<10-8 T 

全自动软件包,支持半自动和手动模式,支持远程网络操作和维护。

典型用户:耶鲁大学、日本NTT、中科院物理所、中科大、南大、南方科技大学


 

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