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半导体辅助工艺/光刻胶 > 开封机
 
美Nisene JetEtch Pro.自动塑封开封机(化学开封机)
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美Nisene JetEtch Pro.自动塑封开封机(化学开封机)

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美Nisene JetEtch Pro.自动塑封开封机(化学开封机)

 

机器尺寸(mm):290 x 290 x 530


温度范围:

1) 发烟硫酸: 25C - 250C

2) 发烟硝酸: 25C - 90C

3) 混酸: 25C - 100C


抽酸流量  : 1-6 ml / minute


蚀刻头组件 : 固定式碳化硅(保固1年)


N2 气体支持 : 2.8 lpm (安全盖子+泵)气压为80-110psi


安全

1) 自动显示错误信息

2) 盖子的密合度采用光电感应Sensor(由

于受酸的腐蚀易损件,是耗材)

3) 所有管路一体化设计

 

废酸瓶  : 2个

固定样品方式  : 盖子和固定样品同时进行

密封圈 :  方型(是耗材)






 

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