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半导体辅助工艺/光刻胶 > 开封机
 
美国 RKD 化学开封机 Elite Etch 7000
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美国 RKD 化学开封机 Elite Etch 7000,蚀刻酸解封装置

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美国 RKD 化学开封机 Elite Etch 7000
 




机器尺寸(mm) :   190 x 320 x 305

 

温度范围

1) 发烟硫酸: 25C - 250C

2) 发烟硝酸: 25C - 90C

3) 混酸: 25C - 100C (Elite Etch)

4) 混酸(专利):10C -100C (Elite Etch Cu)
 

抽酸流量   :  1-8 ml / minute


蚀刻头组件:  固定式碳化硅(保固3年)


N2 气体支持 2.0 lpm (安全盖子+泵)气压为60-70psi


安全

1) 自动显示错误信息

2) 设置EMO紧急停止按扭

3) 漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里

4) 采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)

5) 所有管路一体化设计,双层保护套,并且酸瓶盒配有盖子


废酸瓶  :  1个
 

固定样品方式: 子盖下以后,自动从上到下,直接固定样品
 

密封圈  :  圆型(不是耗材)

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