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晶圆清洗设备
 
BW 217A 全自动LED晶圆贴膜机
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 BW 217FA 全自动晶圆贴膜机,全自动贴膜作业,双手臂取放片,节省作业时间;最多可放 3 个卡匣,一次处理 75 片铁环 ( 铁环一次最多可放 100 片 )

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产品详情

BW 217FA 全自动晶圆贴膜机

 

卖点

· 热熔切膜

· 全自动作业

 

机台优势

· 全自动贴膜作业

· 双手臂取放片,节省作业时间;最多可放 3 个卡匣,一次处理 75 片铁环 ( 铁环一次最多可放 100 片 )

 

作业方式

 

[自动模式]:

将铁环放置于铁环升降传动机构上,卡匣放置于卡匣升降传动机构上,按自动启动,取片手臂吸附铁环,将铁环放置于移载台上,移载台移动至贴膜位,机构下压膜至移载台表面后贴合,熔切于铁环上,完成后移载台自动退出,移载台升降机构将铁环上升,放片手臂自移载台将铁环取走后,放置进卡匣内,自动进行下一片贴膜动作。

 

[手动模式]:

开启手动模式,按自动启动,取片手臂与放片手臂退至安全位,移载台至入料位,操作员放置铁环,在画面上按吸真空,确定钮长按一秒,移载台移动至贴膜位,机构下压膜至移载台表面后贴合,熔切于铁环上,完成后移载台自动退出,移载台升降机构将铁环上升,操作员即可取走铁环,在画面上按平台升降,令移载台升降机构下降,继续放置铁环,进行下一片贴膜动作。

 

设备规格

设备尺寸

1150 mm × 1260 mm × 2130 mm ( W×D×H )

设备重量

720 kg

电源AC

1 Ø 220 V  ∕  10 A

空气源

6~8 Kgf/cm2 (10 ØTube)

晶圆尺寸

晶粒尺寸

雷切深度

铁环尺寸

6″ Flat Rin设备应用范围

g ( 内径 Ø 194 mm ; 外径 228 mm ;t= 1.0 ~ 1.3 mm )

 

 

 

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