韩ECOPIA  变温光霍尔效应测试仪 HMS-7000

相比于传统的变温霍尔效应测试仪，变温光模霍尔效应测试仪可以通过改变照射在样品上的不同波长范围的光源（红、绿、蓝光源）， 得出载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数等半导体电学重要参数随光源强度变化的曲线。

相比于传统的变温霍尔效应测试仪，变温光模霍尔效应测试仪可以通过改变照射在样品上的不同波长范围的光源（红、绿、蓝光源）， 得出载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数等半导体电学重要参数随光源强度变化的曲线。

产品规格：

1、 仪器主要参数

2、 软件操作环境

Windows 10 / 8 / 7 环境下；

3、 实验结果

体载流子浓度、表面载流子浓度； 迁移率、霍尔系数；

电阻率、电导率； 磁致电阻；

电阻的纵横比率；

载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数vs 光强曲线载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数vs 温度曲线；

I-V 曲线，及不同温度下I-V 曲线的对比图；

4、 仪器尺寸和重量

主机尺寸：440×420×140 mm (W×H×D) / 8.5Kg；

常温光电磁体组尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 16.5Kg； 高温磁体组尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 16Kg；

5、 测量材料

Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO 等所有半导体薄膜(P 型和N 型)；

产品组成:

1、主机系统

恒定电流源+范德堡(Van der Pauw)方法终端转换系统

2、常温测试系统AMP55TP 及光学模块

- 0.55T（+/-0.03T）永磁体

• 马达控制的磁体组系统，可以实现常温下不同光强对应的霍尔效应参数测量，该系统由霍尔效应测试仪主机及霍尔测试软件所控制。
• SPCB 可拆卸弹簧样品夹具，方便样品固定

• 光学模块

通过HMS-7000 主机及霍尔效应测试仪软件控制光源及马达自动完成测试，并绘制出载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数随光源强度变化的曲线如下：

3、 高温变温磁体组及高温样品系统 (常温至 773K（500℃）)

主要组成部分及技术规格：

- 马达控制的磁体组件及腔体；

- 数据传输电缆、温控电缆等；

- 高温变温样品板及弹簧夹具；

- 高温温控系统、热电偶；

- 0.51 特斯拉永磁体；

- 金属复合材质的高温样品板；

- 全自动温度控制范围：常温~500 摄氏度；

- 温控精度：0.5 摄氏度；

- 控温步长：1 摄氏度；

- 升温时间：约 40 分钟(常温至 500 摄氏度)；

- 样品尺寸：样品边长控制在 5mm - 20mm 长；

- 密闭样品腔体设计，惰性气体保护；

4、 变温测量软件

不同实验温度下对应的测试结果