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Nikon 步进式投影光刻机
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Nikon 步进式投影光刻机

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Nikon 步进式投影光刻机

分辨率:0.35μm, 套刻精度:< 75nm, 十字线对准:5:1 , 150毫米* 150毫米

Resolution:0.35μm, overlay accuracy:<75nm Reticle:5:1 150mm*150mm

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