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光刻机/微纳加工 > Optosystems准分子激光器
 
CL7000准分子激光器
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俄罗斯Optosystems 准分子激光器: CL 7000,陶瓷放电激光腔设计,长寿命,激光腔,电子系统一体化设计,功率稳定运行模式

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产品详情

俄罗斯Optosystems 准分子激光器: CL 7000

 

     

准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

 

CL7000技术参数:

 

选功能和附件:
 

F2,157nm型号可选
1000Kz型号可选
窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1



CL 7000主要特点特点

陶瓷放电激光腔设计,长寿命
激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式

预混合供气,使用简单
计算机控制

 

应用 :


准分子激光脉冲沉积镀膜
准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
准分子激光材料加工,微纳制造,光刻

 

相关图片:

                         准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图

 
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图
 
CL7000系统机械尺寸图
 
 
 

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