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光刻机/微纳加工 > Optosystems准分子激光器
 
CL 5000 准分子激光器
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准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

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俄罗斯Optosystems准分子激光器: CL 5000

 

       准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

CL 5000系列技术参数:

       

可选功能和附件:

 

1000Kz型号可选

窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1

F2,157nm型号可选

 

CL 5000系列主要特点:

 

陶瓷放电激光腔设计,长寿命

激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式

预混合供气,使用简单

计算机控制
 

应用:

 

准分子视力屈光矫正(LASIK)

准分子激光光栅光纤(FBG)刻写

准分子激光材料加工,微纳制造,光刻


相关图片:

 激光腔,电子系统一体化设计,系统紧凑

CL5000系统机械尺寸图

 CL5000准分子激光器光斑模式图,优秀的光学模式

基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统,该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有多个系统在中国安装

 准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)

 
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