中文
|
EN
产品分类
联系我们
地址:深圳市宝安区沙井街道共和第四工业区昊海弘工业园A6栋7楼
电话:0755-29698758, 81776600,81779891
廖总:13538131258 QQ:583129932
网站:www.lxyee.net
邮箱:johny.liao@lxyee.net
半导体微纳检测仪器 > Keyence 基恩士台阶仪轮廓仪测微针集一机
 
VK-X3000基恩士KEYENCE 形状测量激光显微系统
*姓名:
*手机/微信:
*单位:
*邮箱:
*内容:
*验证码:

KEYENCE 基恩士 形状测量激光显微系统全新 VK-X3000,纳米 / 微米 / 毫米,一台即可完成测量。292 种分析工具,一台即可了解希望获取的信息。一台即包含了光学显微镜,台阶仪,光学轮廓仪,及电镜功能。

咨询购买
产品详情

KEYENCE 基恩士 形状测量激光显微系统全新 VK-X3000

纳米 / 微米 / 毫米
一台即可完成测量
 
 

超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对

 

一台即可测量纳米 / 微米 / 毫米

三重扫描方式

一台设备可使用激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉等三种不同的扫描原理。根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式,进行高精度测量。

 

一台即可了解希望获取的信息

292 种分析工具

测量软件不仅可以测量高度或尺寸,还能通过多样的分析工具按照用户的想法实现进一步的分析。

 

 

激光显微系统的基本特点

 

 

 

实现更高一级精度

[ 0.1 nm 线性标尺 ]

配备超高精度线性标尺,以 0.1 nm 的高分辨率识别物镜的 Z 位置,从而实现更加细微的凹凸检测。高度测量结果基于符合国家标准的可追溯性系统。

 

最快 125 Hz 瞬间完成扫描

[ IC : High Speed Processor 7900 ]

通过深化感应技术,对 X 轴、Y 轴扫描仪进行特别处理,进一步优化测量进程。不仅可以在保证测量精度的同时进行 125 Hz 的面测量,还能在瞬间得

到数值和波形的线测量中实现最高 7900 Hz 的样品测量 。

 

如实捕捉形状和大小的光学设计

[ 远心镜头 ]

VK-X3000 使用连画面边缘都少有失真的远心镜头,可在整个视野内进行高精度测量。因为可以如实捕捉目标物的形状和大小,所以在画面内能实现

高测量精度。

 

可获取高可靠性的原始数据

[ 超高灵敏度光电倍增器实现 16 bit 感应 ]

对于捕捉激光反射进行测量的激光显微镜来说,如何接收激光并将其识别为高度信息是十分重要的。VK-X 采用光电倍增器作为接收激光的元件,成功

地以 16 bit 的高分辨率进行感应。

准确读取反射率不同的复合材料

[ 16 bit(65536 灰度级)处理 ]

测量数据以 16 bit(65536 灰度级)进行处理,以往难以看清的细微的颜色和明暗差异都可以如实地反映出来。

陡角也可准确测量

[ 基恩士传统产品 16 倍的动态量程 ]

从微弱的激光反射到强烈的激光反射都能一次接收,并以基恩士传统激光显微镜 16 倍的灵敏度进行处理。对于具有陡角或复杂形状等以往难以测量的

样品,或低倍率的测量等也可准确执行。

 

扫描的上下限设定不会出错

[ 自动上下限设定 ]

通过光接收量识别焦点位置。从该位置向下限方向移动,将正好位于光接收量检测界限以下时的位置设定为下限。然后向上方移动,将再次位于光接收

量检测界限以下时的位置判定为上限。通过这种方法识别并设定样品的上下限,操作十分简单,可以防止人为设定偏差。

 

 

检测焦点位置并瞬间进行自动调整

[ 激光自动对焦 ]

由于干涉镜头对于反射率低的样品工件干涉信号会变低,所以观察画面难以对焦是一个难点。本次配备了可以高速扫描的激光和高灵敏度的检测器,能

够瞬间确定焦点位置,还可自动向 Z 方向进行调整。

 

可检测倾斜状态并轻松进行调整

[ 消零辅助功能 ]

干涉仪的样品工件倾斜调整需要以条纹为参照,肉眼确认倾斜状态,并反复进行调整作业,直至工件处于水平状态。此外,由于该作业事前倾斜调整目

标不明,所以进行“是否真的水平”这一艰难判断也是强人所难。消零辅助功能则可以检测工件的倾斜,并自动计算调整干涉条纹所需的补正角度。调整前可以了解操作的程度,因此能够轻松、准确、快速地进行调整。

 

能够放心托付的全自动测量AI-Scan

 

 

 

准确检测反射光量并进行扫描[ RPDII 算法 ]

 

自动调整光接收量,难以测量的表面状态也可支持

[ AAG Ⅱ算法 ]AAG=Advanced Auto Gain

 

 

扫描条件增加到 2 条以测量复杂形状[ 双扫描 ]

支持三重扫描方式的测量原理

 

 

 

以激光检测反射光量和高度

激光光源为点光源,因此通过 X-Y 扫描光学系统扫描观察视野内,用受光元件检测各像素的反射光。在 Z 轴方向上驱动物镜,反复扫描

以获取各像素在每个 Z 轴位置上的反射光量。以反射光量最高的 Z 轴位置为焦点,检测高度信息和反射光量。由此可以获取聚焦于整体

的光量超深度图像和高低图像(信息)。

 

通过 CMOS 相机获取颜色信息

另一方面,白色光源的反射光由彩色 CMOS 相机检测。每个像素都获取激光光源所检测焦点位置的颜色信息,因此实现了 SEM 难以做

到的真实彩色观察

 

[ 何谓激光共聚焦…… ]

 

确定反射光量最多的 Z 位置

如图所示,同一平面(1024 × 768 像素)中的各像素取得每个 Z 轴位置(Z 位置)的反射光量信息(强度),获取反射光量最高的 Z 轴位置(= 焦

点位置)或此时的反射光量、颜色信息。基于这些信息构建“彩色超深度”、“光量超深度”、“高低”这 3 种图像数据。

 

针孔排除环境光

在使用 CMOS 等作为受光元件的拟共聚焦光学系统中,因为来自焦点位置以外的反射光和对相邻像素的环境光等的影响,难以实现高精度测量和高分

辨率观察。激光共聚焦光学系统完全排除来自焦点位置以外的反射光,实现了高精度测量和高分辨率观察。

 

[ 何谓聚焦变化…… ]

 

 

以基于景深决定的适合的移动间距从下往上移动物镜,同时检测 560 万像素高精细彩色 C-MOS 相机捕捉到的高画质图像的焦点变化(影像的散焦情

况),从而求出聚焦位置的 3D 测量方式。聚焦于目标物的影像在比较相邻像素亮度时,亮度差会因影像的明暗而变大。而在没有聚焦的影像中,相邻的黑色和白色亮度差会变小。因此,通过记录亮度差最大时的镜头位置,可以记录目标物的“高度信息”。此外,物镜的位置信息受到内置线性标尺(测长

器)的监控,因此可以更加准确地获得观察目标的“高度信息”。在对观察的目标物进行 3D 测量的同时,通过将聚焦于部分影像的图像重叠起来,可

以合成聚焦于整体的观察图像。

 

 

[ 何谓白光干涉…… ]

 

 

通过 CMOS 元件等视觉传感器观测光的干涉图样,从而求出三维形状的测量方法。使用内置基准平面镜(参照面)的干涉物镜,将白色 LED 等白色

光照射到基准平面镜(参照面)和目标物(测量面)上。这样一来,通过使各个反射光相互干涉,以基准平面镜为基准,目标物面的形状变成每个高

1/2 波长的等高线,出现干涉条纹。用 560 万像素的高精细彩色 C-MOS 相机捕捉该干涉条纹,通过电脑处理求出干涉条纹强度最大的点,测量凹凸。

 

一台即可了解希望获取的信息包含 292 种分析工具

 

[RETURN]
上一个:没有了
下一个:没有了

Copyright © 2019 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 All Rights Reserved  粤ICP备12009628号    |    友情链接(旧版网站)