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光刻机/微纳加工 > China 紫外光刻机单面/双面/无掩膜
 
URE-2000/30Z 型光刻机
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URE-2000/30Z 型光刻机,  样片尺寸:3'', 4'',6'',  自动对准精度:±0.7mm

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产品详情

URE-2000/30Z 型光刻机

 

1.技术参数

最大曝光面积:160mmX160mm

曝光波长:405nm

分辨力:(胶厚 2m 的正胶)

 

 

    

。自动对准精度:±0.7mm

。掩模样片相对运动范围:X:±5mm;Y:±5mm;  : ±

掩模尺寸:4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸

样片尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、6 英寸

曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

具备接触式、接近式、真空曝光三种功能

照明不均匀性: 4%(150mm×150mm 范围)

CCD+远心镜头+显示器对准:光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

掩模样片分离间隙:δ=0-500um 连续可调

。最大焦厚:600(SU8 胶,用户提供检测条件)

光源平行度:1.2º

曝光能量密度:>20mW/cm 2

 

2.配置

(1)曝光头

冷光椭球镜

XYZ 汞灯调节台

冷却风扇

350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2 4

 

(2)对准工件台

样片电动运动台

样片调平机构,自动完成

样片自动调焦机构

承片台 4 个(3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸)

掩模夹 4 个(4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸)

样片电动抽拉式上下片机构

 

(3)CCD+远心镜头+显示器对准系统

光源、电源

CCD 两组

6 倍远心镜头 2 对

21 英寸液晶显示器

 

(4)样片传输系统

片盒 8 个(3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸各 2 个)

片盒升降台 2 组

光学预对准台

4 自由度机械臂(双臂)

 

(5)电控系统

汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

单片机控制系统5

。 控制柜桌

 

(6)气动系统

气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪

 

(7)其他附件

真空泵一台(无油泵)

空压机一台(静音泵)

管道

注:可接厂房气源系统

 

(8)技术资料

。 使用维修说明书

 

3.外形尺寸:1800mm(长)1500mm(宽) 1700mm(高)

4.重量:240kg

5.电源:220V/10A 单相 6

6.功率:≤1800W

7.工作环境:

气压:1 个标准大气压

工作温度:22±2℃

设备储存温度:-40℃—50℃

洁净度:1000 级以上(建议)

 

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