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光刻机/微纳加工 > Elionix 日本伊领科思电子束光刻机
 
ELS-BODEN 新型电子束光刻系统
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ELS-BODEN  新型电子束光刻系统,高速扫描400MHz频率生产

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产品详情

NEW ELS-BODEN Electron Beam Lithography System

新型ELS-BODEN 电子束光刻系统

ELS Series

 

ELS-BODEN Ó
Fastest in the industry!

 

业内最快!
High speed scanning at 400MHz clock frequency for production

 

高速扫描400MHz频率生产

Key Product Features

 

关键产品特性Fastest in the industry!

• The industry's fastest 400 MHz high speed scanning

 

业界最快的400mhz高速扫描
High speed beam scanning, 4 times faster than our previous products.

 

高速光束扫描,比我们以前的产品快4倍。
High current and narrow beam pitch, which was not possible until now.

 

大电流和窄波束间距,这是不可能的,直到现在。
The new system achieves faster and higher quality writing. It is ideal for the MPWS (field-polymerized writing). 
新系统实现更快和更高质量的刻写。它是MPWS(现场聚合刻写)的理想选择。
• Faster stage speed

 

阶段的速度更快
Redesigned the stage to meet the demands of production applications and achieved higher speeds.

 

重新设计了工作台,以满足生产应用的要求,并实现了更高的速度。

• Inherits traditional Elionix technology

继承了传统的Elionix技术
150kV/125kV if the ultra-fine patterns are most important. 

150kV/125kV如果超细图案是最重要的。
100 kV for common system and wide variety of applications

100kv用于普通系统和广泛的应用
50 kV for high speed writing for the production.

50kv用于高速写作,用于生产。
It can meet user's several requirements.

能满足用户多方面的要求。

 

Specification 规格参数:

 

Emitter发射器

ZrO/W thermal field emitter热场发射体

Acceleration Voltage        加速电压

50kV

100kV

125kV

150kV

Beam Current   电子束电流

1nA to 1µA

20pA to 100nA

5pA to 100nA

5pA to 100nA

Minimum Beam Diameter       最小电子束直径

Φ5nm

Φ1.8nm

Φ1.7nm

Φ1.5nm

Standard Field Size 标准写场直径

1000µm square

1000µm square

500µm square

500µm square

Min. / Max. Field size           最小/最大写场尺寸

Min. 100µm square
Max. (option) 3000µm square

Scan Clock      扫描频率

Max. 400MHz

Minimam Shot Pitch          最小投射距离

0.2nm

Maximum Specimen Size最大样品尺寸

8" wafer / 12" wafer

Maximum Exposure Area 最大曝光面积

200mm × 200mm / 300mm × 300mm

Loading System

加载系统

Single cassette auto loader
Multiple cassette auto loader
12" FOUP Robot loader
Robot loader with PEB
Variable wafer size robot loader

单盒式自动装载机

多盒式自动装载机

12" FOUP 机器人装载机

带PEB的机器人装载机

可变晶片尺寸的机器人装载机

 

Software 软件

     elms

 • Beam conditions
 • Exposure schedule
 • Pattern data converter
 • Account management
 • Python scripting

•电子束条件

接触的时间表

•图形数据转换器

•账户管理

•Python脚本

 

 

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