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光刻机/微纳加工 > 美OAI紫外光刻机
 
OAI UV Led 光源
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OAI  UV  Led 光源-对准和均匀,适用于高要求的光刻应用。

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OAI  UV  Led 光源-对准和均匀,适用于高要求的光刻应用。

 

BENEFIT       好处       
Low Cost      低成本
Long Life       寿命长
Energy Efficient    高效率能源
Low Power Usage   低功率使用
No maintenance costs or lamp changes   没有维护费用或更换灯管
No Mercury.            没有汞
 
OPTIONS  选项
Free standing or can be integrated into any OAI  独立或可集成到任何OAI
lithography system  光刻系统
Variety of tooling modules available  可提供多种模具模块
Height adjustable LS stand available   高度可调的LS站
Single or multiple wavelength     单波长或多波长
 
FEATURES   特性
Beam size 4” to 12” sg.  尺寸为4 "到12 " sg
Wave length 365um, 405um or dual wave length  波长365um, 405um或双波长
Dual Wave Length Tuning available  可进行双波长调协
Beam uniformity better than +/- 4%   光束均匀性优于+/- 4%
Beam intensity up to ~25mW/cm2    光束强度可达~25mW/cm2
Easy to use touch screen interface     易于使用的触摸屏界面
Collimation angle <= 2 degrees   准直角< <= 2度
Dose control and timed exposure   剂量控制和定时曝光
USB remote interface for PC control   USB远程接口的PC控制
Long working   长时间的工作

 

 

 

                                                                                                      Tooling   Module

                                                                 Using UV Led Light

                                                                   Source: 0.5um

                                                                    Lines and Space
 
 
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