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光刻机/微纳加工 > China 紫外光刻机单面/双面/无掩膜
 
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
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URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机,曝光面积:6 英寸,正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

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产品详情

URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机

 

技术参数

。曝光面积:6 英寸

。光 源:紫外 LED

。曝光波长:365nm: 10-25mW/cm

。分辨力:1μm

。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

                 物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

                 目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm

。对准精度:±2μm(双面,片厚 0.8mm),±0.6μm(单面)

。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸,厚度 0.1mm--2mm ,

。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

。照明不均匀性:2.5%( Ф 100mm 范围)19,3%( Ф 150 mm 范围)

。掩模相对于样片运动行程:

          X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6 度

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接口

。最大胶厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:2°

 

外形尺寸:1300mm(长)x900mm(宽) x1800mm(高)

 

配置

(1)曝光头

。冷光椭球镜

。LED 进口光源

。冷却模块

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件

 

(2)对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构,气缸自动调

。承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)

。掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)

。掩模抽拉式上下机构

 

(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 光学系统(选配件)20

。XYZ 底面对准工件台

 

(4)底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

 

(5)电控系统

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统(21 英寸宽屏液晶显示器)

 

(6)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

(7)其他附件

。真空泵一台(无油泵)

。空压机一台 (音静泵)

。管道

 

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