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半导体微纳检测仪器 > 日本JEOL扫描电镜/显微镜
 
JSM-IT800SHL场发射扫描电镜
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JSM-IT800SHL 是日本电子株式会社(JEOL) 2020 年最新推出的场发射扫描电镜,它秉承 JEOL 热场发射扫描电镜 JSM-7900F 的大束流,高稳定性的传统,同时将分辨率提高到新的极限,全新设计的超级混合型物镜,高分辨率的获得以及磁性样品的观察都可以同时完成,而且标配 JEOL 最新开发的 NEO Engine,使得任何人都可以操作该设备得到高质量的图像,是一款非常适合材料分析研究的设备。

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产品详情
日本电子JEOL场发射扫描电镜 JSM-IT800SHL, 是JSM-7900F 的升级版
 
JSM-IT800SHL 是日本电子株式会社(JEOL) 2020 年最新推出的场发射扫描电镜,它秉承 JEOL 热场发射扫描电镜 JSM-7900F 的大束流,高稳定性的传统,同时将分辨率提高到新的极限,全新设计的超级混合型物镜,高分辨率的获得以及磁性样品的观察都可以同时完成,而且标配 JEOL 最新开发的 NEO Engine,使得任何人都可以操作该设备得到高质量的图像,是一款非常适合材料分析研究的设备。
 
 
JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜主要特点
 
。超高分辨图像的观察,最大放大倍数 3 百万倍
      0.5nm (二次电子,加速电压:15kV)
      0.7nm (二次电子,GB 模式,加速电压:1kV) 突出的低压分辨率
 
。加速电压: 0.01kV~30.0kV, 最低可以到 10V,仍然可以得到高分辨率图像。
 
。高稳定的大束流强度:
日本电子的 JSM-IT800SHL 热场电子枪浸没在聚光镜上半部,发射出的电子束可以全部进入聚光镜,使得分析束流从 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA,能谱、波谱等分析效率效果明显改善。与此同时,溅射出的污染明显减少,枪的寿命大幅度延长。分子泵系统:真空系统洁净,抽气速度快,维护简单。
 
。大束流下保持高分辨率
小束流观察时,容易得到小束斑,保证高分辨率。提高束流,束斑尺寸不容易维持,分辨率衰减较快,这也是早期热场电镜无法取得高分辨率的原因。日本电子的 JSM-IT800SHL 在物镜光阑下端多设计了一级磁透镜(最佳光阑角控制透镜 ACL),可以对电子束进行优化,得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很难获得图像的情况改进到束流 500nA 下依然图像清晰,从根本上解决了大分析束流与高分辨率图像并存的难题。同时给出了一个分析模式下的分辨率保证值,这是其他厂家无法保证的。
 
。最新开发的超级混合式物镜:应用领域广泛,可以直接做磁性样品,无需任何模式切换
 
。 NEO Engine:全新开发的 NEO Engine 优化系统,可以简单一键自动聚焦合轴,无需任何操作基础,轻松可以达到高倍下一键聚焦,使得该设备的易用性达到了新的高度。
 
。五轴马达样品台标准控制:使用极为方便;
 
。快捷的双换样方式:利用 JSM-IT800SHL 的标准配置气锁加大开门设计,即可装入直径最大为170mm 样品,气锁换样速度快污染小,同时支持侧面大开门换样,这样对于大样品和特种附件的安装就更加方便;
 
。 新型探测器:Inlens 探头 UHD 探头可以高信噪比的进行二次电子成像。对于表面精细结构更加灵敏,同时适合断口样品分析。
 
。浸没式热场发射电子枪(专利):束流稳定性高,电子枪寿命超长,质保期为 3 年。
 
。最佳光阑角控制透镜(专利):无须手动切换光阑,束流大小完全由计算机自动控制;
 
。离子泵的电源支持:停电后最长可以坚持 14 天,电池更换每次只需 200 元左右。
 
。良好的可操作性:控制界面设计非常友好,使用极为便利;
 
。稳定的 GB 模式:标准配置。可以有效抑制充电和提高低电压下的分辨率(专利);
 
。一体化能谱分析:配合一体化能谱仪(EDS)分析时,可以实时显示图像和成分信息,无需模式切换。
 
。超长的发射体寿命: 由于采用 In-Lens 技术,我们的束流强度可以达到 500nA,其他厂家只能做到 20nA.我们在做成分分析时,或搭载 EBSD 或 WDS 时,分析速度和结果的精确度远远高于他们。采用了 In-Lens 电子枪技术和完美的气锁换样系统,我们的发射体质保 3 年,用户一般使用在 6 年以上,而其他厂家只能提供质保 1 年的承诺。
 
。优秀的技术支持和售后服务体系:日本电子株式会社在中国建立独立的维修站已经超过 20 年,拥有经验丰富的技术工程师(包括常驻的外国工程师)60 多人,反应快,技术力量强。
 
 
JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜系统主要性能参数
 
 
 

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