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半导体微纳检测仪器 > 德国Zeiss扫描电镜
 
EVO 10德国ZEISS高分辨电子扫描显微镜
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ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10,具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜,提高样品的成像分辨率,提供更多表面细节信息,EVO 电镜广泛应用于材料和生命科学领域。

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产品详情

ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10,具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜
 


提高样品的成像分辨率,提供更多表面细节信息
EVO 电镜广泛应用于材料和生命科学领域。

在低电压下,借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境条件下实时观察材料的相互作用,控制样品
室环境并实现含水生物样品的详细分析。

借助自动化工作流程实现高效应用。EVO 独一无二的 X 射线几何学设计能确保在分析工作条件下达到最佳分辨率。 

 

技术规格
 
设备主要部件及技术要求:
 
该项目的设备必须是全新设备且整体进口(包括所有零部件,元器件和附件等),满足各自的技术指标和性能,其性能应达到国际先进水平,可靠性好,性能稳定,控制精度高,使用、操作和维修方便,售后服务优良,必须在河南地区常驻有售后工程师以方便后期维护。
 
1、基本要求
 
1.1 电子光学系统
 
1.1.1 发射源:钨灯丝;
1.1.2 分辨率:高真空二次电子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射电子像 ≤4.0nm(30kV);
1.1.3 加速电压范围:200V-30kV,10V 步进连续可调;
1.1.4 放大倍数范围不小于:7X-1,000,000X,连续可调;
*1.1.5 探针电流范围:0.5 pA~5μA,连续可调;
*1.1.6 电子束控制模式不少于以下几种控制模式:分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式和鱼眼模式;
*1.1.7 最佳分析工作距离不大于 8.5mm 且最佳分析工作距离下的最大视野范围不小于 6mm,普通模式下最大视野范围不小于 20mm;
 
1.2 真空系统
 
1.2.1 抽真空系统:涡轮分子泵 + 机械泵,不需要冷却水
1.2.2 样品室最高真空度:优于优于 3 x 10-4 Pa
1.2.3 抽真空时间:≤3 分钟
 
1.3 样品室及样品台
1.3.1  样品室内部尺寸不小于 310mm(直径)×220mm(高);3
*1.3.2 可放置的最大样品尺寸和承重:最大样品直径不小于 230mm,最大高度不小于 100mm,样品台最大承重不小于5kg;
1.3.3   配备探测器:高真空二次电子探测器,背散射电子探测器,样品室红外 CCD 摄像装置
*1.3.4  配置五轴马达驱动样品台:样品台马达移动范围:不小于 80mm(X 方向),100mm(Y 方向),35mm(Z 方向),-10°~ 90°(倾斜),360°(旋转)
1.3.5  样品台类型:全电动 5 轴马达驱动样品台,双轴摇杆操作系统;
1.3.6  样品台具有接触报警与自停功能;
*1.3.7  马达台重复精度不低于 2um;
 
1.4 图像处理系统
 
1.4.1   配套计算机系统:不低于 CPU P4 3.0GHz,RAM 512Mb,硬盘 120Gb,软盘驱动器 1.44Mb,光盘刻录机,24″液晶显示屏,键盘,鼠标,USB 接口
1.4.2  显示图像分辨率:不小于 1024×768 像素
*1.4.3  单幅图像最大存储图像分辨率:不小于 32k×24k 像素
1.4.4  存储图像格式:TIFF、BMP 与 JPEG
 
1.5 控制系统
 
1.5.1  配置 Windows 操作系统
1.5.2  配置专业的电子显微镜控制软件
1.5.3  自动功能:自动电子枪启动,电子枪自动对中,自动偏压调整,自动和手动聚焦,聚焦补偿,动态聚焦,旋转补偿,自动消像散,图像降噪处理。
1.5.4  图像采集:像素平均、帧平均、帧积分、行平均、行积分;
1.5.5  显示器:24″高对比度彩色平板显示器;
1.5.6  显示方式:全屏显示、分屏显示、灰度直方图、轮廓方式、伪彩色;
1.5.7  图像注释与数据区:提供标准数据区和定制数据区,可在图片上显示各种电镜参数和字符。
1.5.8  状态菜单:显示各种工作参数。
1.5.9  测量功能:可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量。
 
1.6 能谱仪系统
 
1.6.1  功能:用于材料的微区成分定性、定量分析。
1.6.2  配置电制冷能谱仪,能谱仪窗口面积不小于 30mm2,能量分辨率(600000CPS) Mn-Ka 优于129eV;
1.6.3  元素分析范围:Be4~CF98;
1.6.4  能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计,单探测器输出最大计数率优于 600,000CPS,可处理最大计数率1,500,000CPS;4
1.6.5  可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上,并以该图为中心做微区分析,实现点、区域定性定量分析,以及线扫描和面分布功能;
1.6.6  系统配置专业能谱仪数据处理工作站;
 
1.7 离子溅射仪
 
1.7.1  玻璃处理室:直径不小于 100 毫米,高度不小于 130 毫米;
1.7.2  试样台尺寸:直径不小于 40 毫米可同时放 6 个样品杯;
1.7.3  靶尺寸:直径不小于 58 毫米;
1.7.4  真空系统:直联旋片真空泵 1 升/秒;
1.7.5  真空检测:皮氏计;
1.7.6  真空保护:20Pa 配有微量充气阀调节工作真空;
1.7.7  工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节;
1.7.8  配置:内置一块金鈀。
 
2 产品配置要求
 
为达到上述技术指标,投标产品应配置必要的硬、软件。投标产品不低于以下配置:
2.1  扫描电子显微镜 1 套;
2.2  RS232 能谱仪智能通讯接口 1 套;
2.3  原装进口电制冷能谱仪 1 套;
2.4  原装进口空气压缩机 1 套;
2.5  样品室内全自动控制红外 CCD 相机 1 套;
2.6  二次电子探测器 1 套,背散射电子探测器 1 套;
2.7  样品束流检测器或者束流检测皮安表 1 套;
2.8  不间断稳压电源 1 套;
2.9  碳导电双面胶带 2 卷和灯丝 1 盒(10 支);
 

更简单、更智能、整合性更高

 
无与伦比的表面成像能力

您可以在低电压下利用高分辨背散射电子探测器(HD BSD)实现具有清晰衬度的表面细节成像。针对电子束敏感样品或表面形貌分析,电子束减速技术能够提高分辨率及增强表面细节信息。成像过程中的漂移校正有助于进一步提高边缘分辨率。EVO 系列可提供包含高性能 HD 束源在内的三类电子束源技术,通过组合应用开创图像质量全新标准。
 
 
智能化成像 – 性能高效

EVO 能够提高制造和质量控制领域的工作效率。试想一下,将典型的工作流程从 400 多步操作简化为 15 步,以三种不同的放大倍率在 9 个样本上对感兴趣的 4 个点进行成像。智能化系统能够自动完成光路对中、调节放大倍率、聚焦和移动载物台 – 一切都为最终的图像采集,系统会根据所选的样品设置最佳成像条件。通过易于操作的click-stop 按钮控制镜筒中间的光阑孔,从而获得可靠且重复性高的检测结果。  
 
 
环境电子显微镜技术
 
EVO LS 可在不同温度、压力和湿度条件下观察生命科学样品及材料样品的纳米级信息。使用EVO LS 能获得细胞、植物和生物在自然水合状态下的细节信息。分析材料性能,如耐蚀性、耐热性及涂镀性能。EVO LS 全能型环境扫描电镜能在高达 3000 Pa 的压力下获取高品质图像,轻松完成含水样品的成像,同时利用计算机控制环境条件,以避免出现脱水假象。
 
 
 
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