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离子刻蚀与沉积系统 > 美Nano-master离子束刻蚀溅射镀膜一体机
 
Nano-master 离子束刻蚀溅射镀膜一体机 NOC-4000
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Nano-master 离子束刻蚀溅射镀膜一体机 NOC-4000,提供最先进的原子级清洗、抛光以及光学镀膜技术。

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产品详情
Nano-master 离子束刻蚀溅射镀膜一体机 NOC-4000
 
NANO-MASTER 的 NOC 系列光学镀膜系统提供最先进的原子级清洗、抛光以及光学镀膜技术。
 
光学样片放置于一个腔体种进行原子级清洗和抛光处理,之后自动传送到第二个腔体中进行光学镀膜,这个过程无需间断真空。系统也可以独立使用其中的一个腔体,每一个都可以实现各自的自动上/下载片功能。 
 
紧凑型设计,占地面积仅为 46”x44”,不锈钢立柜。
 
工艺过程通过触摸屏 PC 和 LabView 软件,可实现全自动的 PC控制,具有高度的可重复性,且具有友好的用户界面。
系统具有完整的安全联锁,提供四级密码授权访问保护,含:
   
 操作者权限:运行程序
 工艺师权限:添加/编辑和删除程序
 工程师权限:可独立控制子系统,并开发程序
 服务权限:NM 工程师故障诊断和排除
 
真空系统包含涡轮分子泵和机械泵,极限真空可达到 5 x10-7Torr。涡轮分子泵与腔体之间的直连设计,系统可获得最佳的真空传导率,基本可以达到 15 分钟可达到工艺真空,8 小时达到腔体极限真空。腔体压力调节通过 PC 自动控制涡轮速度而全自动调节,快速稳定。 
 
在第一个腔体中通过离子束可达到原子级的清洗,离子源安装在腔体顶部,离子源配套 2KV,300mA 的电源。样品台配套 4”或 6”基片夹具、水冷,并可对着离子束流实现+900C 到-900C 旋转。系统配套气动遮板,使得工艺运行前稳定离子束流。 
 
根据应用需要可以升级离子源,以支持更大尺寸晶圆片的处理。
 
第二个腔体可以根据应用需要配套 ALD、PECVD、磁控、电子束蒸镀、热蒸镀等镀膜。 
 
膜厚监控仪校准后可实现原位膜厚测量,可以工艺时间或工艺膜厚为工艺终点条件,系统支持设定目标膜厚,当达到设定的目标膜厚时全自动结束工艺。水冷保护晶振夹具,膜厚和沉积速率以及晶振寿命可显示,可存储高达 100 个膜厚数据。 
 
系统的两个腔体均配套单片的 Auto L/UL,可实现自动进样、对准、出样,在不间断工艺真空情况下连续处理样片。Load Lock腔体带独立真空系统和真空计,通过 PC 全自动监控。两个腔体之间可以互相传送样片。整个过程计算机全自动控制。 
 
 
应用:
 光学镀膜
 Sputterint 溅射
 IBAD 离子束辅助沉积
 离子束刻蚀清洗
 离子束辅助反应性刻蚀
 红外镀膜
 表面处理
 
 
设备特点:
 RF 射频偏压样品台
 膜厚原位监测
 极限真空 5 x 10-7Torr
 最佳的真空传导率设计,具有快速真空能力
 PC 全自动控制,超高的精度及可重复性
 高质量薄层
 原子级的超净表面
 原子级清洗和抛光
 LabView 软件的 PC 控制系统
 自动上/下载片
 两个腔体可以分别独立使用并实现自动上下载片
 两腔体之间自动传送,双向传送支持
 菜单驱动,密码保护
 安全互锁
 占地面积 46”D x 44”W
 
 
系统可选:
 向下/向上溅射
 共溅射
 DC, RF 以及脉冲电源
 离子束辅助沉积
 电子束源
 热蒸镀
 等离子源
 ALD 沉积或 PECVD 沉积
 
 
 
 
 
 
 
 
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