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等离子清洗机 / 去胶机 > 德Diener等离子清洗机
 
德国Diener等离子清洗机Zepto,Atto,Femto,Pico,Nano,PlasmaBeam
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德国Diener等离子清洗机Zepto,Atto,Femto,Pico,Nano,PlasmaBea

世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

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德国Diener等离子清洗机Zepto,Atto,Femto,Pico,Nano,PlasmaBeam

 

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品,以保证性能技术稳定。



德国diener等离子表面处理设备特点:

等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备多种系列:

 

Diener等离子表面处理设备  PICO PCCE 全自动

 

 

主要技术参数:
 

  • *全自动PCCE控制系统,可存储50套程序。
  • *根据工艺要求不同,可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量与时间等参数
  • 双路工作气体,MFC质量流量计
  • *反应舱为方形铝制腔体w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm带有铰链门,门带有观察窗。
  • *发生器100 kHz, 0 – 500 W连续可调,反射波自动调节。
  • 电极材质为铝制。
  • 真空泵抽气能力8m3/h
  • *配有压力传感器,实时显示压力值
  • 电源电压:单相AC230V 16A

 


配置清单:

 

 

数量

备注

主机

一台

Diener PICO

真空泵(国内采购)

一台

VRD-8油泵

电源线

一根

2mm

操作说明书

一本

 

操作面板

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