美国 OAI 光刻机 Model  200 型桌面掩模对准器系统

完全手工操作

。输出光谱范围:Hg: G(436海里),H(405海里),I(365nm)和310nm线，Hg-Xe: 260nm和220nm或LED: 365nm, 395nm, 405nm

。衬底从块大小8平方

。互换抛掷和面具

。紫外灯功率范围从200到2000 w

。选择紫外LED光源(365 nm和405 nm)

。空气轴承真空吸盘

。接近(15-20um): & lt; 3.0 - 5.0, 软接触:2.0um，硬触点:1um和真空接点:≤0.5um

。对齐模块X, Y,和Z轴和θ

。双通道光学反馈

。只提供正面接触w / IR选项

。可用在桌面选项只适用于研发及独立工作

。.占用空间小

。适用于生物学、微机电系统、半导体和 Microfludics CLiPP应用程序

Model 200 Table Top Mask Aligner System