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镀膜沉积机 > 英国Cressington离子溅射仪/US Ted Pell
 
108AUTO 自动离子溅射仪
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英国 Cressington (US market: Ted Pella) 108Auto 全自动离子溅射镀膜仪 , 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。  

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产品详情

英国 Cressington (US market: Ted Pella) 108Auto 全自动离子溅射镀膜仪 

 

 

108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。  
 

 

主要特性

· 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和zui佳的导电喷镀效果。

 

· 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

 

· 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

 

· 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

 

· 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

 

· 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

 

· 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

 

· 可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数

样品室大小

直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")

靶材

Au 靶为标配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mmx 0.1mm厚

样品台

可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,zui大电流40mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量

真空:Atm - 0.001mbar

厚度监控
(选件)

使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程

控制方法

自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

 

 

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