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光刻机/微纳3D打印机 > 日JEOL电子束光刻机
 
JBX-8100FS日本电子JEOL 圆形电子束光刻系统
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日本电子JEOL JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统, 最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统,通过全方位的设计优化,实现更简便的操作,更快的刻写速度,更小的占地面积和安装空间,并且更加绿色节能。

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日本电子JEOL: JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

·  JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统

·  最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统,通过全方位的设计优化,实现更简便的操作,更快的刻写速度,更小的占地面积和安装空间,并且更加绿色节能。

 

 

最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统,通过全方位的设计优化,实现更简便的操作,更快的刻写速度,更小的占地面积和安装空间,并且更加绿色节能。

 

节省空间

标准的设备占地面积为4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往机型占用空间更小,外形更加紧凑美观。

 

低功耗

正常工作时的功耗约为3kVA,仅需以往机型耗电量的1/3。

 

高产能

具备高分辨率和高速两种刻写模式,非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时,并将扫描频率提升至业界最高最水准的125MHz (以往机型的1.25~2.5倍),使其具备更高的生产能力。

 

机型

JBX-8100FS系列设有G1(基本版)和G2(全配版)两种机型。G1机型装机后也可进行升级,使其支持更高的应用需求。

 

新功能

安装光学显微镜(选配)后,在避免光刻胶感光的的同时可对材料上的图形进行确认。设备还配备了信号塔(标配),实现了视觉范围内的系统运行状况监控。

 

激光定位分辨率

采用分辨率为0.6nm的激光干涉仪,对样品台位置进行高精度的量测控制。

 

系统控制

配备了Linux®系统,图形用户界面使操作更加简单,便于初学者使用。数据准备程序支持Linux®和Windows®

 

主要技术指标

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