日本RION测光阻专用液体粒子计数器: KS-41A, KS-41B

液体光学颗粒度仪 KS-41A

.可侦测到光阻产品中最小粒径 0.1um 的颗粒（最小可定制到0.7um）流量为 5mL/min。（用于测试透明液体如纯水）

. 可自行设定的粒径范围 0.1~0.5um，通过 KE-40B1 的控制器可

扩充至 10 个通道

出厂设定为 5 通道：0.1/0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um

.可以连接多个监控系统。

使用液体粒子计数器的主要领域：

液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料，比如SOG(旋转涂布玻璃）和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂（比如碱、有机溶剂和氢氟酸）。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。