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日本理音Rion液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。
使用液体粒子计数器的主要领域:
液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料,比如SOG(旋转涂布玻璃)和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂(比如碱,有机溶剂,和氢氟酸)。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研噟液,测试方法包括在线和离线测试。
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