Stratus Inrema 光掩膜/光罩检测机,专为光掩膜检测的最高标准而设计,具有金模到数据库(D2DB)与颗粒缺陷检测能力。支持透射和反射(T/R)照明和从4到14英寸的掩膜尺寸,包括特殊规格(例如6*12″ 或 8*10″),兼具高精度与极致的简便性。
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