ASML 光刻机 Twinscan NXT:1980Di 

NXT:1980Di 虽然分辨率在38nm左右，但是通过多重曝光，依然可以支持到7nm左右。只不过，这样步骤更为复杂，成本更高，良率可能也会有损失。据说台积电的第一代7nm工艺也是基于 NXT:1980Di 实现的。

目前NXT:1980Di 更多还是被用于45nm以下成熟制程的生产

目前NXT:1980系列已经升级到了NXT:1980 F，NXT:1980D是两代之前的产品了。之前的NXT:1980 D/E都是基于NXT3平台，F是新的NXT4平台，每小时的生产晶圆数量从275wph上升到了295wph，而且NXT4平台还能支持后续升级到330-350wph。