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半导体微纳检测仪器 > 日本JEOL扫描电镜/显微镜
 
JSM-7610FPlus 冷场发射扫描电子显微镜
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JSM-7610FPlus,用于纳米科学的肖特基场发射扫描电子显微镜, 是一款采用半浸没式物镜、拥有超高分辨率的场发射扫描电子显微镜,能观察微细结构和进行微区元素分析。

 
 
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产品详情

JSM-7610FPlus,用于纳米科学的肖特基场发射扫描电子显微镜, 是一款采用半浸没式物镜、拥有超高分辨率的场发射扫描电子显微镜,能观察微细结构和进行微区元素分析。

 

 

技术指标:

 

 

 

特点

半浸没式物镜

   超高空间分辨率(1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm)

 

利用新一代r-过滤器选择能量

   自由选择二次电子和背散射电子

 

利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像

   选择通道衬度和来自样品表面的信息

 

浸没式肖特基电子枪

   提供分析时需要的大电流(200 nA 15 kV),寿命长(发射体保证3 年)

 

丰富的附件

   可以安装EDS、WDS、STEM、CL 等多种附件

 

半浸没式物镜的示意图

    

半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可以获得超高分辨率。

                              

 

超高分辨率观察实例

 

 

柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

 

 

柔和电子束模式(GB 模式)通过给样品施加负电压,从而使电子束在即将撞击样品之前降低着陆电压,因此可以在低加速电压下(最低 100 V)进行高分辨观察。

 

由于电子束在样品中散射区域减小,就会容易地观察样品浅表面的精细结构,能减少对热敏样品的损伤,可以直接观察非导电性样品。

 

JSM-7610FPlus 在 GB 模式下(1 kV)的分辨率为 1.0 nm。

 

 

 

 

GB 模式的效果

 

GB 模式在低电压下提高分辨率

 

 

增强了的低加速电压下的分辨率

 

 
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