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半导体微纳检测仪器 > 日本电子JEOL显微镜
 
JXA-8530F Plus 场发射电子探针显微分析仪
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日本JEOL 场发射电子探针显微分析仪 JXA-8530F Plus 采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度,能利用2 μA以上的大探针电流进行分析,还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。

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产品详情

日本JEOL 场发射电子探针显微分析仪 JXA-8530F Plus 

 

 

2003年日本电子推出了世界首台商业化场发射电子探针(FE-EPMA),此后被广泛地应用于金属、材料、地质等各个领域,并获得了极高的赞誉。最新研发的第三代场发射电子探针JXA-8530F Plus,电子光学系统有了很大的改进,新的软件能提供更高的通量,并保持着极高的稳定性,能实现更广泛的EPMA应用。

 

产品特点:

· 肖特基场发射电子探针Plus

· JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度,能利用2 μA以上的大探针电流进行分析,还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。

 

· 高级软件

· 新开发了多种基于Windows操作系统的软件,其中包括:能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。

· 备注:Windows7® 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标。

 

· 灵活的WDS配置

· X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆, 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽,波长分辨率高和P/ B比优异,100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点,可以根据需要选择使用。

 

· WDS/EDS组合系统

· JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器(以下简称SD检测器),凭借高计数率的SD检测器,在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析,通过简单的操作就能采集EDS谱图。

 

 

· 多功能样品室

· 样品室的可扩展性强,配备了样品交换室,可以安装各种附件。 可以安装的附件

· • 电子背散射衍射系统(EBSD)

· • 阴极荧光检测系统

· • 软X射线分析谱仪

· • 不暴露在大气环境下的转移舱

· • 高蚀刻速率的离子源

 

 

· 强力、清洁的真空系统

高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵, 镜筒内还采用两个中间室,通过差动抽气保持电子枪室的高真空。

 

· 软X射线分析谱仪 (SXES)

· SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)  软X射线分析谱仪

· 日本东北大学多元物质科学研究所(寺内正己教授)和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS)和高灵敏度的CCD相机组合,同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线,该谱仪实现了极高的能量分辨率,因而能进行化学结合状态分析等。

 

 

· miXcroscopy (关联显微镜)

· miXcroscopy 光学显微镜/扫描电子显微镜关联系统

· 能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点,该系统最适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。

 

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