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晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机 > 晶圆UV清洗机系列
 
BW 232FA 全自动晶圆清洗机
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BW 232FA 全自动晶圆清洗机,可置放两组 Cassette,加热功能,四面溢流与过滤循环功能

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产品详情

BW 232FA 全自动晶圆清洗机

 

 

卖点

。SECS / GEM 功能
。全自动超音波洗净
。Barcode 读取

 

机台优势

。可置放两组 Cassette
。加热功能
。四面溢流与过滤循环功能

 

作业方式

第一槽: 药剂超音波槽。
第二槽: 药剂超音波槽。
第三槽: 纯水 QDR 槽。
第四槽: 纯水 QDR 槽。
第五槽: 纯水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。

 

设备规格

设备尺寸

4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( W×D×H )

设备重量

3500 kg

电源AC

415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V)
240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V)

空气源

压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2

N2

General Nitrogen 2 m³/min

 
设备应用范围

晶圆尺寸

6″ 晶圆

晶粒尺寸

雷切深度

胶环尺寸

膜料尺寸

 
机台特性

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