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光刻机/微纳3D打印机 > 俄Optosystem准分子激光器
 
俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
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俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

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产品详情

俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器: CL7000,   俄罗斯 Optosystem

 

     

准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

CL7000系列技术参数:

型号

ArF

KrF

XeCl

波长

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

预电离

火花

标准脉冲能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100


5 W
10 W
20 W


8 W
20 W
35 W


6 W
15 W
25 W

最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽

17 ns

20 ns

20 ns

脉冲稳定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束发散角

1.5 x 4.5 mrad

时间抖动

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100


风冷
水冷(水流< 1L/min)
水冷(水流< 3L/min)

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

气体

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows

 

可选功能: 

      1 、1000Kz型号可选
      2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
      3、 F2,157nm型号可选

 

特点:

      1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命
      2、激光腔,电子系统一体化设计
      3、功率稳定运行模式
      4、预混合供气,使用简单
      5、计算机控制

 

应用 :

      1、准分子激光脉冲沉积镀膜
      2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
      3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻

 

准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图

 

准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图

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